ここから本文です
Yahoo!ファイナンス
投稿一覧に戻る

(株)フェローテックホールディングス【6890】の掲示板 2022/06/25〜2022/06/30

>>151

信越のウエハーは、プロセス熱処理での内部欠陥の出来方が安定していて、さすがでしたね。
ポリシリコンのエッチャーは、HDPで、電子温度イオン温度を下げて低エネルギーで下地酸化膜との高選択比、高アスペクト比を取る方向、逆に酸化膜は、SiOボンドの結合エネルギーが高いので、ある程度プラズマのエネルギーを高くし、あまり高解離にしてフッ素が増えると下地シリコンが削れて選択比が落ち、フルオロカーボンで側壁を覆わないと、垂直形状が得られないので、あまり低圧りやくにに出来ない、しかし反応性生物の堆積を抑えないとエッチング何止まってしまうので、ガスの流れを速くして、停留層を薄くして反応性生物を早く輸送する必要がある、などエッチング膜によって、得意なプラズマ方式、チャンバー構造が違ったりするので、各メーカーで得意不得意がありますね。

  • >>155

    どうなんかいな?
    そんな話、どうでも良いんだけどね。

    問題は、杭州中欣晶園半導体がどこまで戦えるかだよね。
    特に12インチウェハーなんて8割くらいは1~5年の長期契約なんで、簡単には入り込めないんだよね。8インチは長期契約って5割ってとこなんで比較的入り込みやすいかな。
    それとカバレージだね。メモリ関連はポリッシュだろうね。先端のメモリー関連に入り込むって難しいかもね。一方、ロジックってエピの比率が結構高いんじゃじゃなかったっけ。
    正直な話、杭州中欣晶園半導体の技術力ってのが未知数なんだよね。大阪特殊合金と東芝(台湾のGlobal Wafersに買収されてGlobal Wafers Japan)の技術がベースだけど、杭州中欣晶園半導体も東芝だね。かなりの技術を東芝は持っているとは思うし、ここも20年やって来ているしね。技術力が少々低くてもepiだったら対抗できるかな。

    ともあれ、現状でどこまで12インチの生産が拡大してきているかだね。12インチはepiを中心に市場開拓をして行くのが得策なんだろうね。当然のことそうしているはずだけど。信越に対抗できるような技術力が有れば別だけど。

  • >>155

    Etcherは、ラジカルとイオンのコントロールでレシピを組みますが、ウインドウが狭いとマージンがなくなり量産運用に問題が出てきます。TELは、基本的には、並行平板なので限界があり、コンベンショナルな、プロセスでは価格がリーズナブルなので使われますが、クリティカルな部分の加工にはLamになると思います。特に大口径のコントロールには、蚊取り線香に分があります。AMATのICPもかなり蚊取り線香に近い形状になってきましたが、微細化には、Lamがリードしてます。あまり詳細には書けませんが、微細化に進むとシェーディングやおっしゃていたパッシベーションでコントロールが難しくなっています。