ウシオ電機(株)【6925】の掲示板 2021/08/03〜2021/08/21

>>1015

多分この手の3Dはフェイスアップでスタックしてワイヤボンド接続しないと思うので、HBMのようなTSVで裏面に電極引いてハンダバンプ接続すると思います。この場合はダイ上に直接配線、というかマスクつけますよね。PSRの露光なんてわざわざEUV使わないでもできそうだし。

実業はPKG工程に近い所なので、露光装置の説明ページ結構真剣に読んだのですが、正直具体的にどの工程の装置がシェア100%なのか理解出来なかった。

機会があったらウシオに聞いてみよう。