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ウシオ電機(株)【6925】の掲示板 2021/08/03〜2021/08/21

>>1011

色々な呼び方があるみたいですけど、大括りではシリコンインターポーザーを使ったチップレット実装の一種だと思います。
このシリコンインターポーザー部分の露光はTSMCの5nmノードの前工程プロセスを使うとするとウシオの後工程基板向けの露光装置は使わないのでは?