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日本電子(株)【6951】の掲示板 2019/02/27〜2020/02/21

>>754

森の熊さんが指摘してくださった、「検査装置」は電子ビーム式を使っても「パターン間の寄生容量の問題はなし」も勉強になりました。
やっぱ、「露光装置」には電子ビーム式は・・・なのかな?