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日本電子(株)【6951】の掲示板 2019/02/27〜2020/02/21
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>>755
営業の世界では「クレームは宝の山」って言いますが、
「ご指摘も宝の山」ですね。これからも前のめりの投稿の際はイエローカードをお願いします(笑) -
>>755
ここでいうところの露光装置とは?
一般的にはマスク・レチクル描画装置とウェハ直接露光(描画)装置とは別物です。
マスク描画装置は今現在電子ビーム方式しかありません。ちなみにメーカーは日本電子とニューフレアの2社のみです。
>>754
森の熊さんが指摘してくださった、「検査装置」は電子ビーム式を使っても「パターン間の寄生容量の問題はなし」も勉強になりました。
やっぱ、「露光装置」には電子ビーム式は・・・なのかな?