日本電子(株)【6951】の掲示板 2019/02/27〜2020/02/21

>>755

ここでいうところの露光装置とは？
一般的にはマスク・レチクル描画装置とウェハ直接露光（描画）装置とは別物です。
マスク描画装置は今現在電子ビーム方式しかありません。ちなみにメーカーは日本電子とニューフレアの2社のみです。