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ウシオ電機(株)【6925】の掲示板 2021/07/11〜2021/08/02

>>122

SKはペリクル使った場合の透過率の犠牲とペリクル使わなかった場合のマスクのパーティクルによる歩留まりの悪さを(冗長回路でカバー)天秤にかけたのだと思います。ペリクル高いですから。