レーザーテック(株)【6920】の掲示板 2022/01/12〜2022/01/13

原子間力顕微鏡のパークシステムズが、ウエハー製造の極端紫外線法（EUV)で使用されるマスクの検査装置を開発したことが、TheElecの取材で明らかになった。

この装置は、マスクに損傷を与えることなく、欠陥や改善点を検査することができると、関係者は述べている。

パーク・システムズは、世界のファウンドリ企業とこの装置をテストしており、近いうちに供給取引につながるかもしれないと、彼らは付け加えた。

現在、EUVマスクの検査装置を提供しているのは、日本のレーザーテックのみで、赤外線を使用している、しかし、この装置は数台しか生産されておらず、価格も高い。

パークシステムズの装置は、化学線の代わりに原子間力顕微鏡を使用している。このため、欠陥を探すだけでなく、欠陥を分析し、改善策を提示することができるという。