投稿一覧に戻る 日本電子(株)【6951】の掲示板 2019/02/27〜2020/02/21 739 morinokuma3 2019年11月28日 14:37 >>735 エルメス＝HERMES MVのことかと思いますが、世界で唯一というのは間違いです。ウェハの検査装置に電子ビームを使っている装置を生産しているのは日立ハイテク、Applied Materials、KLA-Tencor、NGR（東レエンジニアリング子会社）、アドバンテストなどのメーカーがあります。昔は日本電子もやってましたが撤退しました。 一般にWafer Inspection といいますが、大別するとレビューSEMとCD-SEM（測長SEM）になります。 >パターン間の寄生容量の問題 マスク露光装置ではありませんので、あまり関係ありません。 そう思う4 そう思わない0 開く お気に入りユーザーに登録する 無視ユーザーに登録する 違反報告する 証券取引等監視委員会に情報提供する ツイート 投稿一覧に戻る 740 頑張れロールtoロール 2019年11月28日 14:46 >>739 ありがとうございます😊 また、色々と教えて頂ければ幸いです。 そう思う0 そう思わない0 開く お気に入りユーザーに登録する 無視ユーザーに登録する 違反報告する 証券取引等監視委員会に情報提供する
頑張れロールtoロール
>>735
エルメス＝HERMES MVのことかと思いますが、世界で唯一というのは間違いです。ウェハの検査装置に電子ビームを使っている装置を生産しているのは日立ハイテク、Applied Materials、KLA-Tencor、NGR（東レエンジニアリング子会社）、アドバンテストなどのメーカーがあります。昔は日本電子もやってましたが撤退しました。
一般にWafer Inspection といいますが、大別するとレビューSEMとCD-SEM（測長SEM）になります。
>パターン間の寄生容量の問題
マスク露光装置ではありませんので、あまり関係ありません。