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日本電子(株)【6951】の掲示板 2019/02/27〜2020/02/21
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>>735
エルメス＝HERMES MVのことかと思いますが、世界で唯一というのは間違いです。ウェハの検査装置に電子ビームを使っている装置を生産しているのは日立ハイテク、Applied Materials、KLA-Tencor、NGR（東レエンジニアリング子会社）、アドバンテストなどのメーカーがあります。昔は日本電子もやってましたが撤退しました。
一般にWafer Inspection といいますが、大別するとレビューSEMとCD-SEM（測長SEM）になります。
>パターン間の寄生容量の問題
マスク露光装置ではありませんので、あまり関係ありません。
morinokuma3
2016年、インテルがIMSナノファブリケーション（オーストラリア）買収するちょっと前に〜ASMLが台湾のエルメス を買収しましたよね、世界で唯一電子線を使った検査装置を開発したところです。
今、NFL（ニューフレアーテクノロジー）が「電子ビーム検査装置」を開発中らしいですね、以前どなたかが電子ビーム式はパターン間の寄生容量の問題があるといわれてましたが検査装置に関してはその問題は発生しないんですかね⁇
とても興味があります。
いつでもいいですから、またschさん教えて頂けませんか？