ウシオ電機(株)【6925】の掲示板 2021/07/11〜2021/08/02

>>119

SKは、ペリクル使わないらしいので、DUVの検査装置で間に合わすつもりかもしれません。冗長性があるため、多少ミスっても大丈夫だとか。でもマスクブランクスの検査は、euv光源でする可能性はありますね。

レーザーテックの納期や、受注状況、そしてウシオの生産能力はどのくらいなのか気になります。