レーザーテック(株)【6920】の掲示板 2019/12/23〜2019/12/29

>>1048

開口率NA=n•sin thetaであり、EUVでは屈折率nは1.0、光学系の開口角シータは9幾何学的には90°ですが、反射光学系では8枚反射非球面鏡がお互い光線を邪魔しあって、 thetaをあげるのは難しいです。10枚構成にすれば少し上がりますが、反射鏡の反射率が落ちてウエハー面光強度が落ちて、光源の明るさを上げざるを得ず、電力消費、熱発生から難しいです。いずれにしても、それが可能になってもそこで終わりです。
露光装置の一番の問題は、ウエハーのスループットが高い事、経済的にそこは譲れませんので、新しい露光方式は絶望的に難しいです。現在のEUVにたどり着くのに、学会、企業、研究所が寄ってたかって無理かもしれないと思いながら30年以上かかり、やっと量産に載せたのが現実です。