(株)日本マイクロニクス【6871】の掲示板 2017/02/04〜2017/02/09

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】特開2017-34082(P2017-34082A)
(43)【公開日】平成29年2月9日(2017.2.9)
(54)【発明の名称】二次電池搭載チップの製造方法
(57)【要約】
【課題】複数のチップ上に同時に均一に酸化物半導体二次電池が製造できる製造方法を提供する。
【解決手段】第一電極５２と充電機能層（５４、５６、５８）と第二電極６０を積層して構成される酸化物半導体二次電池を、回路上に積層したチップの製造方法であって、ウェハ２０上に形成された複数のチップ２２の各チップ２２に対応した領域に対して個別に酸化物半導体二次電池を形成することなく、複数のチップ２２に対応した領域に対して一体的に酸化物半導体二次電池を積層して形成する積層プロセスと、一体的に形成された酸化物半導体二次電池に対して、各チップ２２に対応した領域を残して、各チップ２２に対応してない他の領域を除去するパターンエッチングを行い、各チップ２２に対応した個別酸化物半導体二次電池（５０－１、５０－２）に分割する分割プロセスと、を備えている。