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(株)オキサイド【6521】の掲示板 2024/03/07〜2024/05/01
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273
>>272
他の投稿にもありましたが大口顧客か中国とあります。ニッチトップでシェア90%なのにTSMCやintelが入っていないと言うことは、この検査装置を代替する優れた検査装置があるということでしょうかね。勿論オキサイドの製品が塗り替えてくれることを期待して株を買いましたが。
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278
>>272
オキサイドは半導体製造装置メーカーに部品を供給する2次サプライヤーです。オキサイドの顧客はあくまで装置メーカーなので、TSMCやIntelといったデバイスメーカーと直接取引をすることはないはずです。米KLAや日立ハイテク、中国skyverseやなどオキサイドの部品を使った装置メーカーが直接取引を行っています。
半導体工程における検査装置は様々な方式のものがありますが、パターン形成前のウエハー検査は、現状レーザーを使ったものが主流であり、今後もそうであり続けると思います。そのレーザー光源で使われる波長変換結晶の95%をオキサイドが供給しており、その意味で現状もニッチトップだと考えます。直接の顧客ではなくても、オキサイドの製品が使われた製造装置が世界中の半導体工場で使われているはずです。
詳しいことは、オキサイドのIR担当に聞いたら回答してもらえるかと思います。
>>271
私は素人なので詳しいところまでは分かりませんが、パターンなしの検査装置に使われているはずです。半導体プロセスの微細化に伴い、基板であるシリコンウエハーに対する要求も相当厳しくなっています。それに伴い検査装置も超高精度が求められます。各工程ではパターンありの検査が行われるはずです。メインは回路形成前のウエハー検査用途かと。
初潜入、SUMCO半導体ウエハー工場奇跡の現場
https://www.nikkei.com/article/DGXZQOUC123MP0S2A710C2000000/
まずはSUMCOの主力製品である直径300ミリメートルウエハーがどれだけ精密か、例えを用いて説明しよう。まず、ウエハーの平たん度だが、直径300メートルの競技場の大きさに拡大したと仮定すると、地面の高低差はわずか0.1ミリ以下でしかない。
また、ウエハー表面には20ナノ(ナノは10億分の1)メートルの微細異物が数個しか許されない。これは直径300キロメートル(北九州市と鹿児島県指宿市のおおよその直線距離)の円形の土地(約7万平方キロメートル、ほぼ九州2個分の面積に相当)に1円玉が数個転がっている程度の異物しか存在しない、といえば分かりやすい。
最先端3nmプロセス、次世代GAA2nmプロセスのウエハーへの要求はもっともっともっと厳しいはずです。このレベルの「欠陥」を正確かつ迅速に検出するのがウエハー欠陥検出装置の役割ですね。