(株)オキサイド【6521】の掲示板 2024/03/07〜2024/05/01

オキサイドの製品は半導体ウエハー欠陥検査装置に使われています。ウエハーの欠陥を検査する際にレーザーを回転するウエハーの表面に照射し、乱反射があればそれを検知してウエハー表面の欠陥を検出します。同装置は信越化学やSUMCOといったウエハーメーカーの出荷時検査や、TSMCやサムスン、インテルといったデバイスメーカーのウエハー受入検査で使われます。

オキサイドは装置に使われるレーザー光の波長変換結晶と、紫外線レーザー装置を半導体製造装置メーカーに販売しています。波長変換結晶は世界シェア95%、紫外線レーザーは世界シェア30%だと公表しています。

日立ハイテクはオキサイドの大口顧客であり、リンク先のウエハー欠陥検出装置にもオキサイドの製品が使われているはずです。

日立ハイテク　ウエハー欠陥検査装置とは

https://www.hitachi-hightech.com/jp/ja/knowledge/semiconductor/room/manufacturing/inspection.html