(株)ジェイテックコーポレーション【3446】の掲示板 2021/05/26〜2021/07/22

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超精密非球面形状計測グループ

超高精度なX線ミラー等を加工するために開発した加工法は、それぞれ完成の域に達しようとています。ところが、実際にX線ミラーを作製する場合には、理想形状からの偏差分を数値制御により修正加工するため、形状誤差を高精度に測定することが必要不可欠です。作製されるミラーの精度は、加工よりもむしろ測定の精度に依存してきます。本研究では、文部科学省高エネルギー加速器研究機構との共同研究によって、測定対象面の法線を絶対精度5×10-8rad（5nm/100mm）以上で計測し、その値を積分することによってnmレベルの精度で平面や任意非球面の絶対形状を測定できる超精密形状測定装置の開発を目指します。

大阪大学 研究室 恐るべし