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レーザーテック(株)【6920】の掲示板 2023/09/12〜2023/09/13

>>509

社訓:スーパーラピッド、世の中に無いもの毎年一つ開発して行こう!!ww(๑>◡<๑)💛*゚✲ฺ٩(ˊᗜˋ*)و ✲ฺ

ASMLでも課題だったデブリ&コンタミを解決!!ww(๑>◡<๑)💛*゚✲ฺ٩(ˊᗜˋ*)و ✲ฺ

Sn を使った EUV 光源では、デブリの抑制が重要な課題のひとつです。

「URASHIMA」では当社が独自に開発したデブリミチゲーションシステムを用いることで、マスクがデブリで汚染されることのないデブリフリーの EUV 光源を実現しました。

さらに照明光学系のコンタミネーションも抑制し、従来を上回る生産性を実現しています。

レーザーテックは今後も独自のソリューション開発に力を注ぎ、EUV リソグラフィにおける品質改善、生産性向上に貢献してまいります。

☆彡☆彡~~~~~~~~~~~~~~~~~

また一つ、超微細EUVフォトマスク原版歩留まり向上半導体量産化技術に新たな歴史が刻まれた。

By銀河英雄伝説