レーザーテック(株)【6920】の掲示板 2022/01/07〜2022/01/09
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>>856
シェア1000%じゃ無くなるのですか?
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>>856
まもなく供給契約の可能性って書いてますね
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>>856
まあ競合が出てくることは遅かれ早かれ分かっていたよね。
それが思ったより早かった。一旦利確しようか検討中 -
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>>856
これは、結構衝撃的なので、大切な部分だけ訳してみました(完全に訳があっているわけではないのと、抜粋して意訳していることをご了承ください)。
AFM firm Park Systems develops EUV mask inspection equipment
「原子間力顕微鏡(AFM)メーカーである韓国パークシステムズが、EUVマスク検査装置を開発」
AFMメーカーのパークシステムズは、ウェハ製造におけるEUVマスク検査装置を開発した。
検査装置は、マスクに損傷を与えることなく欠陥を検査することができる。
パークシステムズは、世界的な半導体製造企業とこの装置をテストしており、まもなく供給契約につながる可能性がある。
現在は、日本のレーザーテックが赤外線技術を使用したEUVマスク装置を提供している唯一の会社ですが、数台しか製造されておらず、高価である。
パークシステムズの検査装置は、化学的な光線の代わりに、原子間力顕微鏡(AFM)を使用しており、欠陥を見つけるだけでなく、欠陥を分析して改善につなげることが可能である。
パークシステムズの副社長は、以下のように述べている。
「現在の検査装置は、主にレーザーを使用して欠陥を除去していますが、その方法では、サンプルサイズが小さいものほど、表面が損傷する可能性が高くなります。代わりに顕微鏡を使用すると、マスクの損傷を防ぐことができます。」
パークシステムズのキットは、海外のトップファウンドリ企業によってテスト中であり、共同開発を通じて、韓国のファウンドリ企業でもテスト中である。 -
>>856
シスメックスと同じく、ついに競合リスクにさらされる事になるのか…
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>>856
年末の記事ですね
クロリナリ 2022年1月8日 23:57
韓国の会社がEUVマスク検査装置を開発ってニュースが出てるね
http://www.thelec.net/news/articleView.html?idxno=3716