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(株)フェローテックホールディングス【6890】の掲示板 2022/07/06〜2022/07/10

>>980

EUVスキャナーも、13.5nmより短波長化も、NA0.6より上がらないだろうし、これ以上の微細加工は無理だね。
EUVじゃ、液浸出来ないしね。笑