投稿一覧に戻る 日本ゼオン(株)【4205】の掲示板 2017/11/07〜2021/10/29 412 aki***** 2019年8月5日 12:01 ★9:29 日本ゼオン－続落 次世代電子部品向けポジ型電子線レジストの「ZEP530A」シリーズ上市 日本ゼオン<4205.T>が続落。同社は8月2日大引け後に、次世代電子部品向けポジ型電子線レジストの新グレード「ZEP530A」シリーズを上市したと発表した。 既存グレード「ZEP520A」で培ってきた技術をベースに、高解像度を実現した「ZEP530A」シリーズを開発、上市した。「ZEP530A」シリーズは、優れたドライエッチング耐性を保持しつつ、解像度とプロセスウィンドウを向上させた製品。レジストの薄膜化により、ハーフピッチ（hp）17nmのライン&スペース（L/S）パターンの解像も確認しているとした。 そう思う57 そう思わない1 開く お気に入りユーザーに登録する 無視ユーザーに登録する 違反報告する 証券取引等監視委員会に情報提供する ツイート 投稿一覧に戻る
★9:29 日本ゼオン－続落 次世代電子部品向けポジ型電子線レジストの「ZEP530A」シリーズ上市
日本ゼオン<4205.T>が続落。同社は8月2日大引け後に、次世代電子部品向けポジ型電子線レジストの新グレード「ZEP530A」シリーズを上市したと発表した。
既存グレード「ZEP520A」で培ってきた技術をベースに、高解像度を実現した「ZEP530A」シリーズを開発、上市した。「ZEP530A」シリーズは、優れたドライエッチング耐性を保持しつつ、解像度とプロセスウィンドウを向上させた製品。レジストの薄膜化により、ハーフピッチ（hp）17nmのライン&スペース（L/S）パターンの解像も確認しているとした。