東京エレクトロン(株)【8035】の掲示板 2015/10/01〜2015/12/01

Impressio™1800 PICP」を受注開始

製品情報 2015年10月13日
　東京エレクトロン株式会社（東京都港区、社長：東哲郎）は、第6世代(1500x1850mm)ガラス基板対応ドライエッチング装置ImpressioTM 1800に関し、新たに開発したプラズマモード「PICP※1」を搭載した高精細プロセス向けモデルの受注を開始したことをお知らせいたします。

　フラットパネルディスプレイ業界は、スマートフォンを筆頭に、今後、500,600,700ppi※2と高精細化が進むと同時に、低消費電力化やユーザーインターフェースの高機能化など新たな技術革新が見込まれています。そのため、ドライエッチング装置はより高度な加工技術や今まで以上の生産性、歩留まりなどの実現が求められています。「PICP」はこうした高い技術ニーズに応えるべく画期的なコンセプトにより独自開発した世界初の大型装置向けプラズマソースです。「PICP」は加工均一性の大幅向上に加え、最大20%以上(当社比)の低消費電力化により、デバイスの静電破壊などのリスクを低減、また量産におけるプロセス変動の抑制を実現しました。
なお当装置はすでに一部のお客さまより高い評価をいただいており、2016年1月以降に、市場への投入を予定しています。

　東京エレクトロン株式会社　執行役員 兼 FPDBUGM　松浦次彦は、「Impressio 1800 PICPは、お客さまの量産ラインでこれまでに得られた実績をもとに、本質的なニーズを深く掘り下げ開発された装置です。最先端プロセスにおける生産性や歩留まりの向上に貢献します」と述べています。