日本電子(株)【6951】の掲示板 2019/02/27〜2020/02/21

>>760

レーザーテックのマスク検査装置は最先端の微細なマスクには使用できないと思います。分解能の違いによるものです。ホロンなどが販売しているマスク検査装置は電子ビーム型、つまり走査電子顕微鏡の原理ですが、レーザー顕微鏡はレーザー光の波長に依存します。ですからEUVは勿論のこと最先端のmemory等には使用できません。

日本電子のJEM-ACE200Fは透過型電子顕微鏡（TEM）の原理を利用します。電子ビームの透過能に依存します。対して走査電子顕微鏡（SEM）は検査対象表面に照射して表面形状を観察します。

ちなみに電子ビームの加速電圧を上げることで積極的にバックスキャッタを利用してレジスト内部に埋もれた欠陥を検査する試みも行われているみたいです。