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ウシオ電機(株)【6925】の掲示板 2021/08/22〜2021/09/10

>>780

SoCは全て同一ウェハ内に露光するのでASMLのような前工程の露光装置だと思います。ウシオのは後工程PKG用なので、SiP(System in PKG、マルチダイPKG)のインターポーザー用なのだと思います。