(株)フェローテックホールディングス【6890】の掲示板 2022/06/25〜2022/06/30

>>190

成る程、技術は進んでいるんですね！
それでは、三次元NANDフラッシュメモリーの、128メモリー積層の深い微細な貫通穴のエッチングは、TEL型の並行平板の周波数プラズマとではなくて、ラムリサーチのICP型のエッチャーでエッチングしてるんですか？
古い頭の私には、HDPだと、エッチングガスが乖離しすぎて選択比と垂直形状での加工が難しいと思うのですが？