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(株)タムラ製作所【6768】の掲示板 2021/05/26〜2021/06/16
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>>1067
これも関係ありそうですよ
酸化ガリウムの量産化に関係ありそうです（中身まるで理解できない）
特許6846754結晶積層構造体
https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6846754
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しんぱいお
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特許はこれかな。タムラ製作所で調べたら他にもありそうだったけど
特許6402079
β−Ｇａ２Ｏ３系単結晶基板の製造方法
https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6402079