(株)ＳＵＭＣＯ【3436】の掲示板 2021/01/21〜2021/01/28

>>464

シリコンウエハー工場の工程は、ライン状ですが

ウエハーの前工程のFABの作業工程は、
例えば
洗浄
→酸化膜付け
→膜厚測定
→フォトレジスト塗布
→露光
→現像、ベーク
→検査
→イオン注入
→アッシャー
→有機洗浄
→アニール
→酸化膜膜付け
→膜厚測定
→フォトレジスト塗布
→露光
→現像、ベーク
→エッチング
→アッシャー
→有機洗浄
→洗浄

の様に、それぞれの装置群を何度も何度も通るため、高価な装置の稼働率を上げる為、ライン状で無く、装置群ごとにまとめたジョブ ショップ構成になっています。
工場見学してもあまり参考にならないのでは？