(株)ジェイテックコーポレーション【3446】の掲示板 2024/04/02〜

熱そう？

新型形状可変ミラーの開発完了のお知らせ
当社は、国立大学法人東海国立大学機構名古屋大学の松山智至教授及び国立研究開発法人理化学研 究所の矢橋牧名グループディレクターを中心とした研究グループに参画し、反射面の変形量が原子レ ベルの精度、かつその変形が長時間安定的に持続する新型形状可変ミラーの開発に成功しましたので お知らせします(図1)。
放射光施設では放射光の焦点距離、集光径、収差などを補正するために形状可変ミラーが用いられ ますが、従来製品は反射ミラーに圧電素子※1を接着させたもので、形状変形の線形性や時間的安定性、 また耐久性などに問題がありました。今回のこの新型形状可変ミラーは、圧電素子のひとつであるニ オブ酸リチウム単結晶そのものを反射ミラーとして使用することにより、原子レベルの形状変形を実 現し、時間的安定性を実現しております(図1)。
そして、SPring-8※2で使用されています当社の X 線集光ミラー「OsakaMirror🄬」が用いられている 従来の X 線顕微鏡に対してこの形状可変ミラーを組み合わせることにより、設置状況や使用環境が原 因で発生する X 線の乱れやバラつき(波面収差)を補正することが可能となり、従来よりも高精細な 画像を取得することに成功しました(図2)。
このように、今回開発に成功した新型形状可変ミラーは、「OsakaMirror🄬」と相補的な光学デバイス として位置づけられるものです。その用途は X 線顕微鏡だけでなく、その他 X 線測定・分析装置、半 導体製造・検査装置等への展開も期待できます。今後、新型形状可変ミラーの製造・販売の準備を進 め、「OsakaMirror🄬」だけでなく新型形状可変ミラーについても世界の先端的放射光施設に対して販売 拡大を図ってまいります