(株)ニコン【7731】の掲示板 2021/12/03〜2022/04/14

日本経済新聞。

ニコン、半導体露光で「3次元化」　装置の売上高2倍に。

ニコンは半導体の電子回路を縦方向に積み重ねて性能を高める製造技術「3次元化」に対応した露光装置を開発する。電子回路を何層も縦方向に積み重ねていくときの重ね合わせ精度や生産性を高める。2023年にも市場に投入する。電子回路の集積度を高める「微細化」では競合に後れをとったが、成長が期待される3次元化の分野で巻き返しを狙う。

露光装置は微細で複雑な電子回路のパターンをシリコンウエハーにレンズを通じて焼き付ける...