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日本電子(株)【6951】の掲示板 2024/05/16〜

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..j23... 様子見 6月14日 07:44

すでに Intel へは導入済み、TSMC Samsungへは年内に導入予定の次世代EUV露光装置だが、ASMLでは次々世代機の開発がスタート・・・
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リソグラフィ最大手ASMLはIntelのオレゴン工場にHigh-NA(Numerical Aperture:開口数)のEUV装置を初出荷したが、海外複数のメディアによると、早くも次のHyper-NAのEUV装置開発が始まりそうだ。従来のEUV装置のNAは0.33でHigh-NA装置は0.55、そしてこれから開発するHyper-NAは0.75となり、これまで以上に微細加工が可能になる。