日本電子(株)【6951】の掲示板 2019/02/27〜2020/02/21

ロールtoロールさん、こんにちは。

>次世代パワー半導体素材の欠陥検査装置「XS1 Mipox」
この装置、初めて知りました。

>ここで教えて頂いた文言が
ウェハ内部の欠陥のことでしょうか？露光プロセス以降の欠陥検査と、露光前の欠陥検査は別次元のものですね。XS1はSiC・GaNをはじめとする次世代パワー半導体材料の単結晶ウェハにおける結晶異常を検査する装置のようです。

ちなみにMipox社は以前、日本ミクロコーティングという社名で本社が日本電子と目と鼻の先にありました。確か研磨剤や研磨用フィルムの会社だったかと。