投稿一覧に戻る (株)タムラ製作所【6768】の掲示板 2024/05/09〜 418 空売りは異常だ 5月13日 20:35 YouTube 【ずんだもんで学ぼう】未来を支える技術：半導体が切り開く新時代 株）ノベルクリスタルテクノロジーで結晶製造を行っているEFG法の概要を図1（a）に示します。EFG法は引き上げ法の一つであり、大きな成長速度を得やすい育成方法です。しかし、得られる結晶が板状であり、そこから円形の基板をくりぬいているため、加工時に不要部分が生じてコストが高くなることや、β-Ga2O3結晶の強い異方性に起因して結晶引き上げ方向の制約が強く、得られる基板の面方位が限定されるという課題があります。今回開発を進めているVB法の概要を図1（b）に示します。VB法は、原料を格納した坩堝（るつぼ）を温度勾配のある炉内に格納し、原料を溶融させた後に坩堝を引き下げて凝固させる育成方法です。よって、坩堝と同じ形の結晶が得られるため、円筒形の坩堝を使えば円筒形の結晶が得られ、基板化加工の際の不要部分が大幅に少なく、低コスト化が可能となります。さらに、引き上げ法による育成と異なり、坩堝内の融液を凝固させる育成法であるため、結晶の異方性に起因する成長面の制約を受けにくく、さまざまな基板の面方位を作製可能であり、EFG法の課題を解決できると期待されます。それに加え、引き上げ法と比較して温度勾配が小さい環境での育成が可能であるため、結晶の高品質化が可能であることや、結晶成長方向に対して垂直に基板を取得できるためにドーパント濃度の面内均一性の向上が期待できるといった特長もあります 返信する そう思う9 そう思わない4 開く お気に入りユーザーに登録する 無視ユーザーに登録する 違反報告する 証券取引等監視委員会に情報提供する ツイート 投稿一覧に戻る
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【ずんだもんで学ぼう】未来を支える技術：半導体が切り開く新時代
株）ノベルクリスタルテクノロジーで結晶製造を行っているEFG法の概要を図1（a）に示します。EFG法は引き上げ法の一つであり、大きな成長速度を得やすい育成方法です。しかし、得られる結晶が板状であり、そこから円形の基板をくりぬいているため、加工時に不要部分が生じてコストが高くなることや、β-Ga2O3結晶の強い異方性に起因して結晶引き上げ方向の制約が強く、得られる基板の面方位が限定されるという課題があります。今回開発を進めているVB法の概要を図1（b）に示します。VB法は、原料を格納した坩堝（るつぼ）を温度勾配のある炉内に格納し、原料を溶融させた後に坩堝を引き下げて凝固させる育成方法です。よって、坩堝と同じ形の結晶が得られるため、円筒形の坩堝を使えば円筒形の結晶が得られ、基板化加工の際の不要部分が大幅に少なく、低コスト化が可能となります。さらに、引き上げ法による育成と異なり、坩堝内の融液を凝固させる育成法であるため、結晶の異方性に起因する成長面の制約を受けにくく、さまざまな基板の面方位を作製可能であり、EFG法の課題を解決できると期待されます。それに加え、引き上げ法と比較して温度勾配が小さい環境での育成が可能であるため、結晶の高品質化が可能であることや、結晶成長方向に対して垂直に基板を取得できるためにドーパント濃度の面内均一性の向上が期待できるといった特長もあります