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東洋合成工業(株)【4970】の掲示板 2021/09/30〜2022/02/07

我们正在推动开发用于下一代半导体光刻的感光材料(电阻材料)
半导体(LSI、存储器)的加工尺寸从20nm到10nm,以提高性能。 目前,光曝光用于半导体光刻,而波长为193nm的ArF准分子激光器用于最先进的光刻。
为了进一步小型化,预计波长较短的13.5nm极端紫外光(EUV)光刻。
我们将致力于开发EUV感光材料(电阻)材料,预计在不久的将来将投入实际应用,为半导体行业的发展做出贡献。

東洋合成工業(株)【4970】 我们正在推动开发用于下一代半导体光刻的感光材料(电阻材料) 半导体(LSI、存储器)的加工尺寸从20nm到10nm,以提高性能。 目前,光曝光用于半导体光刻,而波长为193nm的ArF准分子激光器用于最先进的光刻。 为了进一步小型化,预计波长较短的13.5nm极端紫外光(EUV)光刻。 我们将致力于开发EUV感光材料(电阻)材料,预计在不久的将来将投入实际应用,为半导体行业的发展做出贡献。