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扶桑化学工業(株)【4368】の掲示板 2022/11/11〜
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>>220
近年FEOLのCMP回数が激増して、その動きに合わせるかのようにここの躍進があるので、まぁFEOL主体なんだろう、というのが私の見立てです。
最新かは知りませんが、FEOLだけで12回CMPしてるそうです。
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aaaaaa
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>>215
経緯からいうと、銅配線(BEOL)だと思う。
ただ、いつからは知らないけど、リソの焦点深度の関係からFEOLにもCMPが適用されている。現在の物量はどっちが多いかは知らないけど。