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(株)南陽【7417】の掲示板 2018/12/06〜2023/03/08

>>548

2021/6/11
1955+41高値1966
引け新値だゼヨ

新製品「全自動光学検査装置」販売開始のお知らせ

「全自動光学検査装置」3 機種(SRV-300、SRV300ZPM、SIR-300)は、近年、半導体デバイスの高機能化、微細化に伴い、検査ニーズが多種多様となってきた半導体デバイス市場における省力化および省人化に貢献する目的で開発された
装置であります。

「SRV-300」は半導体ウェハーの欠陥レビューを行い、「SRV-300ZPM」はレビュー機能に加えて、白色干渉による 3 次元計測の組み合わせを可能としております。さらに、「SIR-300」では赤外光によるウェハー内部および貼り合わせウェハーの表裏パターンズレ検査を可能としております。

「全自動光学検査装置」を導入することにより、従来の目視検査等の検査工程を自動化することができ、SEM Review 装置に比べ、安価かつ高速であり、他検査モジュールとの組み合わせや、複数装置にまたがる検査工数の削減、全数検査による半導体ウェハーの品質安定化を実現いたします。

なお、受注につきましても 2021 年 6 月より開始しており、3 年後の年間売上高は 10 億円を目標としております