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(株)ニレコ【6863】の掲示板 2018/12/04〜2021/03/09

調べたら光学技研はnedoのプロジェクトに参画していて、フォトマスク検査装置用全個体紫外レーザーのCLBO素子で世界シェア100%のようです。今後微細化やGaNウエハ等の拡大に伴いエキシマレーザーとの互換が進めば化けると思います。