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(株)タムラ製作所【6768】の掲示板 2024/05/09〜

>>426

金子氏は、異なるウエハーメーカー数社からSiCバルクウエハーを入手しDynamic AGE-ingで表面処理を試み、1cm2当たりで数千から2万ほど存在したBPDがウエハー全面でほぼゼロになることを示した。現状で手に入るSiCバルクウエハーでは、1cm2当たりの密度で言うと数千程度の密度でBPDが存在している。Dynamic AGE-ingを使えばこれをほぼなくすことができる。