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(株)タムラ製作所【6768】の掲示板 2022/10/14〜2022/11/04

酸化ガリウムの耐極限環境性能
酸化ガリウムは、酸化物半導体の一種であり、熱的、化学的に安定な性質を持つ。また、代表的な半導体であるシリ
コンの 4 倍以上、窒化ガリウムの 1.3 倍に当たる 4.5 eV と、非常に大きなバンドギャップ*8 を有する。その結果、トラン
ジスタ等のデバイス動作の上限温度が、シリコンでは最高 200 ℃程度、窒化ガリウムでは 600 ℃程度であるのに対
し、酸化ガリウムの場合、原理的に 800 ℃程度までの安定動作が可能となることが予想される。また、その大きなバ
ンドギャップは強固な結晶構造を反映しており、各種放射線照射に対しても大きな耐性を有することが期待される。こ
れらの特長から、酸化ガリウムは、極限環境デバイス応用に非常に適していると考えられ