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ニデック(株)【6594】の掲示板 2023/12/09〜2023/12/16

 ニデック<6594.T>は11日、グループ会社のニデックインスツルメンツが、真空環境でも大気中と同等の関節自由度を持つ、液晶基板搬送ロボットを開発したと発表した。

 真空内で動くロボットは、アームなどの内部から空気やダストなどが排出されないように、各関節部をシーリングしている。これは関節可動の自由度低下の原因となるが、同社製品は減速機と一体化した磁気シールを採用することで使用数を最小限に抑え、大気中と同等の自由度を確保したという。顧客のニーズに応え、アーム形状の異なるブーメランタイプとスカラタイプの2種類をラインアップしているが、双方でユニットを共通化することにより、コストも抑えたとしている。