東京応化工業(株)【4186】の掲示板 2021/09/09〜2022/03/07

韓国企業、半導体EUV工程の主要原料商用化に初成功
2/21(月) 13:06配信

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THE Korea Economic Daily Global Edition
半導体EUV（極紫外線）工程に使われる核心原料が、韓国で初めて商用化された。半導体の工程原材料の分野で日本や中国への依存度を下げることができると期待される。

20日、半導体業界によると、国内中小企業のジェウォン産業はEUV工程の中核原材料の一つであるプロピレングリコールメチル酢酸（PGMEA）の商用化に成功した。ジェウォン産業は、全羅南道麗水市楽浦洞（ナクポドン）にある自社工場（写真）でPGMEAを量産し、昨年末から、サムスン電子やSKハイニックスの1次協力会社に納品を始めた。 国内で実験室研究でPGMEA開発に成功した事例はあるが、量産に入ったのは今回が初めてだと会社側は強調した。

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