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(株)岡本工作機械製作所【6125】の掲示板 2023/12/16〜2024/05/23
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878
>>877
最後の総合所見。悪くはない感触です。
このあたり、ここの誰よりも詳しいであろう小鬼さんの解説がほしいところ。
3.総合所見
概ね目標を達成し、次の研究開発フェーズに進むための成果が得られた。イノベーション創出が期待で
きる。
TSV技術の課題を改善するため、Si/Cu同時研削プロセスとその後工程、無電解NiBメッキとSiエッチ
ングという一連のプロセスが確立しつつあり、接合評価で可能性が実証できている。
今後は、TSV技術の実用化に向けて、工程の安定化や特性向上などを期待する。
>>875
発行年月日がわかりませんが、こんなものを拾いました。
しかし、この産総研と組んだTSVの事業についてはなぜか今は情報が消されているような気配を感じます。以前はもう少し拾えてた?
これは、一定の成果を応用してこんなことができました、という報告書なので、
まるっきり失敗、ということはないだろうと思われます。
むしろ、期限が迫ったこのプロジェクトに関して、緘口令が敷かれているのではないか?
研究成果展開事業 研究成果最適展開支援プログラム
FS ステージ シーズ顕在化タイプ 事後評価報告書
研究開発課題名 :
Si貫通電極ウェーハの超平坦・金属汚染フリー・
薄化加工のための研削ヘ
ッドの開発
プロジェクトリーダー
所属機関 : 株式会社岡本工作機械製作所
研究責任者 : 渡辺直也(産業技術総合研究所)