(株)ジェイテックコーポレーション【3446】の掲示板 2020/07/04〜2020/10/20

>>246

おはようございます😃

昨夜、MOKさんの投稿に目を通しましたが露光装置の反射鏡が大きくなる事や光源出力を上げるのも限界が近づいていて、将来的にはレーザーになる可能性もと仰ってましたね。

複数の反射鏡を使うため、垂直に光線が入射しないわけですから当然に反射率は低下するわけで・・・それを補う為に反射鏡をデカくしたり「反射鏡を多層膜」にしているみたいですが、確か大阪大学の山内和人教授が反射鏡の多層膜にかんする特許を取ってなかったですかね？？