投稿一覧に戻る (株)ジェイテックコーポレーション【3446】の掲示板 2019/01/30〜2019/06/15 792 wba 2019年4月30日 14:14 EEM 特許加工独占の為に高精度ミラー同様 世界一エッチング加工になりそうです‼ <<大阪大学によると、PCVMによって十分な経常精度を得た後に更にEEM加工を重ねることで、極度に高い形状精度をもつ原子レベルで平滑な「完全表面」を創り出すことが可能という ｡>> 適用可能材料 ミラー基板（石英ガラス、Si等）各種X線回折結晶各種単結晶基板（Si, SiC等）→ 新たなX線光学素子の提供半導体基板等の高精度化を実現 高圧力（大気圧）プラズマ➕多電極数値制御により加工効率の格段の向上を目指す (出所：会社資料よりSR作成 ) PCVM法：大気圧プラズマを利用したドライエッチング技術。高圧力雰囲気（主として大気圧のHe）中で電極周りに高周波プラズマを発生させ、高密度で反応性の高いラジカルを局所的に生成し、加工物表面原子を反応させて揮発性の物質に変えることで除去するという加工法。同法による数値制御加工は、加工量をプラズマの滞在時間で制御するため、機械制度等の影響を受けにくく、加工面の原子配列を乱さない。また、非球面形状も簡単に作成可能。工具損耗や加工面へのダメージなど機械加工のデメリットを排除しつつ、匹敵する加工能率と形状創生能力を併せ持つ。大阪大学によると、PCVMによって十分な経常精度を得た後に更にEEM加工を重ねることで、極度に高い形状精度をもつ原子レベルで平滑な「完全表面」を創り出すことが可能という！ そう思う32 そう思わない6 開く お気に入りユーザーに登録する 無視ユーザーに登録する 違反報告する 証券取引等監視委員会に情報提供する ツイート 投稿一覧に戻る
EEM 特許加工独占の為に高精度ミラー同様
世界一エッチング加工になりそうです‼
<<大阪大学によると、PCVMによって十分な経常精度を得た後に更にEEM加工を重ねることで、極度に高い形状精度をもつ原子レベルで平滑な「完全表面」を創り出すことが可能という ｡>>
適用可能材料
ミラー基板（石英ガラス、Si等）各種X線回折結晶各種単結晶基板（Si, SiC等）→ 新たなX線光学素子の提供半導体基板等の高精度化を実現
高圧力（大気圧）プラズマ➕多電極数値制御により加工効率の格段の向上を目指す
(出所：会社資料よりSR作成 )
PCVM法：大気圧プラズマを利用したドライエッチング技術。高圧力雰囲気（主として大気圧のHe）中で電極周りに高周波プラズマを発生させ、高密度で反応性の高いラジカルを局所的に生成し、加工物表面原子を反応させて揮発性の物質に変えることで除去するという加工法。同法による数値制御加工は、加工量をプラズマの滞在時間で制御するため、機械制度等の影響を受けにくく、加工面の原子配列を乱さない。また、非球面形状も簡単に作成可能。工具損耗や加工面へのダメージなど機械加工のデメリットを排除しつつ、匹敵する加工能率と形状創生能力を併せ持つ。大阪大学によると、PCVMによって十分な経常精度を得た後に更にEEM加工を重ねることで、極度に高い形状精度をもつ原子レベルで平滑な「完全表面」を創り出すことが可能という！