投稿一覧に戻る ASMLホールディング【ASML】の掲示板 2024/01/25〜 98 hoh***** 4月19日 21:08 EUVダブルパターニングを不要にするAMATの新技術「パターンシェイピング」(2023/4/21) https://news.mynavi.jp/techplus/article/20230421-2659267/ 1回の露光で済むようになるため、2回目の露光のためのEUV露光装置の購入コストを省けるほか、2回露光のための合わせズレもなくなり、工程数も削減でき、消費する材料も減らせる。また、スループットも2回目の露光＋エッチング工程がなくなるため、早まることが期待されるという。 あくまで露光装置を補うものですが、こんな技術も実用化されていますね。 返信する そう思う5 そう思わない0 開く お気に入りユーザーに登録する 無視ユーザーに登録する 違反報告する 証券取引等監視委員会に情報提供する ツイート 投稿一覧に戻る
EUVダブルパターニングを不要にするAMATの新技術「パターンシェイピング」(2023/4/21)
https://news.mynavi.jp/techplus/article/20230421-2659267/
1回の露光で済むようになるため、2回目の露光のためのEUV露光装置の購入コストを省けるほか、2回露光のための合わせズレもなくなり、工程数も削減でき、消費する材料も減らせる。また、スループットも2回目の露光＋エッチング工程がなくなるため、早まることが期待されるという。
あくまで露光装置を補うものですが、こんな技術も実用化されていますね。