Ｍｉｐｏｘ(株)【5381】の掲示板 2021/10/07〜2021/10/20

Mipox社が、「XS-1」を産総研・先進パワーエレクトロニクス研究センター
及び、名古屋大学に納入しました。

SiC結晶転位・高感度可視化装置 XS-1：
単結晶SiC・GaNウェーハ内部の、結晶転位による内部の歪みを可視化し、
観察します。

単結晶ウェーハ欠陥の観察が重要：
“SiC・GaN”は、次世代パワー半導体の新たな材料として大きな注目を
集めています。

これらの市場の拡大を支えるため、単結晶ウェーハに含まれる結晶欠陥の
観察も重要です。

“XS-1”は、従来の市販の偏光顕微鏡よりも、遥かに高感度な偏光光学系を
搭載しています。

パワー半導体デバイスの特性や、
パワー半導体デバイスの信頼性に、
悪影響を及ぼす可能性のある、結晶転位に由来した、

「結晶内部歪みの可視化による観察」を実現しています。

産総研の研究結果：
「SiCウェーハの結晶転位に対するXS-1の感度」は、
「放射光X線トポグラフィーに匹敵すること」が確認されました。

名古屋大でも、GaNウェーハ用の結晶転位可視化装置として採用されました。

Mipox(マイポックス)とは：
研磨材・研磨装置メーカーであり、光学観察・可視化装置の販売。
革新的なXS-1により、SiC・GaNをはじめとする次世代パワー半導体材料や、
サファイア・AlN・ダイヤモンド等の結晶転位観察の精度・スループットの
飛躍的な向上が大きく期待されます。