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(株)タムラ製作所【6768】の掲示板 2024/05/09〜

SiCの欠点は何ですか?
SiCはパワー半導体に適した性質を備えるが、Siと比べて扱いが難しい材料だといわれてきた。 1つは、製造したウエハーの結晶欠陥密度がSiと比較して高いこと、もう1つはSiに比べて酸化膜の性能に劣ることだ。 2つの課題は、いずれもMOSFETの性能や耐性に影響する