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アプライド・マテリアルズ【AMAT】の掲示板 2021/06/30〜2024/03/06
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>>280
多分、EUV露光機が、ステッパーではなくスキャナーであることも、レンズ結像系ではなく反射ミラー結像系であることも知らないでしょう！
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>>280
多分、EUV露光機が、ステッパーではなくスキャナーであることも、レンズ結像系ではなく反射ミラー結像系であることも知らないでしょう！
Drnishizawa
>>279
AMATの社員は、EUVの光源の波長が13.5nmであることも、レーザー励起錫プラズマの錫多価イオンの共鳴発光線であることも、一人も知らないでしょう！