住友金属鉱山(株)【5713】の掲示板 2019/12/07〜2020/06/22

特許フォーカス＝住友鉱：単結晶育成装置など

チョクラルスキー法において、チャンバー内の坩堝の上部に保温材を高く
配置した場合でも直胴径を評価できる単結晶育成装置を提供することを
目的とする。

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