扶桑化学工業(株)【4368】の掲示板 2022/11/11〜

>>221

FEOLで12回ならBEOLより多いだろうねぇ
デュアルダマシンを使っているだろうから、銅配線1層あたり1回のCMP。TEMなんかで10層の写真もあるけど、設計者はコストを下げるために配線層数は減らすだろうから、それよりももっと少ないはずだしね。

あとは、プレーナかFIN-FET以降かでFEOLでのCMPの回数も違うだろうし、ライン増もFIN-FET以降はそんなに投資をするんかいな?という疑問もあるし，この先はどうなる???
ということで、ホールドを続けるのであった。
ほんとは有機酸の方が成長したりして・・・