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(株)ニューフレアテクノロジー - 株価チャート

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    cpm***** 10月16日 12:17

    >>532

    ちょっと言葉足らずだったので訂正、
    競合の装置が鏡筒内不要ビームの煙だらけの焼肉装置、
    という評価になればチャンス、と言いたかった。

  • nuさんの言う通りに煙だらけの焼肉装置になってるといいなあ。
    それが原因で、ここから逆転があれば、ドラマですよね。

  • >>530

    【古い記事6】
    NFT方式:
    第二段ロケットの仕掛を説明します。第一多孔板まではIMS方式と同じです。続く第二多孔板はかなり厚みを増した偏向電極を備えることが特徴です。芸術的とも言える厚膜工程で偏向電極の長さを十分に取ります。その出口の後に第三多孔板を置きます。第一多孔板とほぼ同じものですが、多分、公差に備えて穴のサイズが少し大きいかも知れません。不要ビームは第三多孔板の穴のすぐ脇にそれるように偏向されるので、穴を通過出来ず、第三多孔板の電極エリアに吸収されて電流として回収されます。したがって、不要ビームは以後、鏡筒空間に出ることはありません。この動作をBlankingと呼び、第二第三多孔板を合わせて一体のBAA(Blanking Aperture Array)と呼んでいます。

    NFT方式では、不要ビームによる第二段ロケットは存在しないのです。
    必要ビームは対物レンズを経て60Kボルト電位のブランクマスクに到達する電界に支配されつつ鏡筒空間を独占できます。

    ここまで来ると、何故、NFTは面倒な不要ビームの完全ブランク化に拘ったのか、皆様の疑問が湧いてくることでしょう。

    EUV時代は、究極のムーアの法則の維持のため、桁違いの高純度化が求められ、僅かな空間の汚染が急激な性能悪化を招くのです。そのため、ロケットモデル同様、理解し易い状況翻訳をやってみます。

    多層構造のマスクブランクは多層に重ねた薄肉で、レジストは肉の上に塗ったタレに相当します。すると電子ビーム描画装置は電子ビーム焼き肉装置になります。焼き肉の排煙装置は鏡筒内の真空ポンプと言うことになります。
    鏡筒内に放たれた大量の高エネルギー無駄ビームは、昔の写真焼き付け暗室内でタバコを吸うような光害になります。焦点穴は汚染源の集中拡散口になり、渦流を発生させるでしょう。その口に全必要ビームが集中するので被害が拡大します。焦点板に衝突する無駄ビームはトタン屋根の雨粒のように雑音源ともなります。大量の高エネルギービーム衝突はX線の発生もあり得ます。その昔、ブラウン管モニタのX線が顔面に当たるという説がありました。そして、無駄ビームの電力消費が鏡筒内でも増え、熱源にもなります。

    それにしても、何故、そんなにマルチビームが過敏なものになるのか、少しずつ解明したいと思います。

  • >>525

    【古い記事5】
    次に、第二段ロケットの仕掛を説明します。

    前記、第一多孔板に512×512の正方行列で約26万個の穴をあけます。穴のサイズは一片10ナノmの微少な正方形ですから、一段目シングル電子ビームの大半は吸収され廃棄されたことになります。
    この穴を抜けた細い電子ビームはすぐ次に配置された第二多孔板に抜けます。第二多孔板は、第一多孔板と同じ位置に穴が空いていますが、この穴には電極が穴の横に立っていて、必要に応じて、電極に偏向電位を与えられる偏向電極になっています。

    IMS方式:
    不要ビームには、偏向電極に電位を与え僅かに進行方向を偏位させます。必要ビームは偏向電位無しで平行性を保ちます。
    結局、不要/必要どちらのビームも第二多孔板を通過します。その先には電界レンズを経て、固定磁石レンズが配置され、レンズ群の焦点位置に60K弱ボルトの電源につながる焦点板が空間を閉鎖します。
    第一多孔板と第二多孔板の間の空間は電位差55Kボルト弱の電界が支配し、第二段ロケットの推進力となります。
    偏向されなかった必要ビームは固定磁石レンズで焦点を結びます。焦点には小さな穴があり、無事、第二段ロケットは通過します。その後、対物レンズを経て、60Kボルト電位のブランクマスクに到着します。

    偏向された不要ビームは平行ではないので、焦点を結びません。結局焦点穴の脇の焦点板の電極面に衝突して吸収され電源に回帰します。

    問題は必要ビーム数の割合です。恐らくは数%以下と見ています。後で吟味することにします。
    26万の大半の第二段ロケットは鏡筒の空間を占拠したものの撃墜されてしまうのです。このことがどんな状況の悪化となるのか、後で触れることとします。

  • 素人の質問で恐縮ですが、5と50で何か運転コストのようなものが変わると言う議論ですか?

    もしくは、当社の製品が他社のものと比べ、優れていると言う議論でしょうか?

  • >>521

    【古い記事4】
    前投稿に続いて、改めて、初歩的な原理説明を試みます。
    ここで必要なのは凸レンズの原理です。先ずは光学レンズを子供レベルで思い出して見ます。

    太陽光は平行光線として扱えます。そこに凸レンズを直交させます。通過した光はすべて焦点に向かいます。焦点に紙を置けば、焦点を焼くことが出来ます。出来た小さな穴を通り過ぎた光は再び円錐状に拡がります。そこで、第二の同じ仕様の凸レンズを同じ焦点距離を置いて直交させます。すると、円錐状に拡がった光は凸レンズを通過後に円筒状の光束となって、平行に進行します。

    以上の事が理解出来なかった方はここで退場をお勧めします。

    光は通過空間の歪みで曲がります。屈折率の変化で曲がること、重力の変化でも曲がることは周知の通りです。では、荷電粒子はどうかというと、磁界、電界、あるいは、双方合わせて電磁界の変化で屈折率変化同様に曲がるので、レンズを作る事が出来ます。電圧の違うドーナッツ状の電極を順に通せば電界レンズとなります。ドーナッツ状の固定磁石や電磁石をならべても磁気レンズが出来ます。電磁併用もできます。固定磁石は強力で安定しているので一気に収束/展開するのに適していますが、取扱いが厄介です。素人がうっかり二つの固定磁石を雑に扱い、密着させて大騒動になったとの逸話を聞いたことがあります。
    したがって、これから複雑微細なビーム制御機構に近接するレンズは電界レンズの方が安定的です。
    前稿で磁気レンズとうっかり書いてしまいましたが、正しくは、電磁気レンズの積もりでした。

    以下、準真空中の仕掛になります。電子の熱発生に優れた金属カソードをヒーターで熱します。次に順次電圧を上げた電界凸レンズ経て、レンズの焦点距離を超えた位置に5Kボルト電源に繋がる第一多孔板で電界空間を閉鎖します。
    電子は、カソードから円錐状に拡がり、焦点位置で円筒の平行ビームになって、第一多孔板に到着します。ここまでが第一段ロケットになるシングルビームです。サイズは鏡筒内部の直径弱となります。
    一般的に一時代前の半導体プロセスで穴あけに適したMEMS加工用のウェハーサイズである6インチで、マスクブランクのサイズにもなるものです。
    第一多孔板に到着した電子は電極でもある多孔板に吸収されて電源装置に回帰します。
    以上、IMS、NFT共通の仕掛です。以下、第二段ロケットへ。

  • >>522

    その記事とは違うんです。
    明確に位相ずらしについての記述があったのですが。
    私の思い違いでしょうか。

  • >>520

    お探しのMark氏の記事は「Multi-Beam Mask Writing Finally Comes Of Age」
    https://semiengineering.com/multi-beam-mask-writing-finally-comes-of-age/
    でしょうか?
    IMSのMBMの模式図に記載されている加速電圧は5KeVのようです。

  • >>519

    【古い記事3】

    前投稿で2段ロケットのモデルを持ち出したのは、初歩的知識で理解が出来ることを分かって貰うためです。
    考えてみて下さい。第二段ロケットの最高速度仕様が、第一段ロケットの仕様になる訳はありません。
    LaP氏の「NuFlare’s tool starts out with a 50-KeV beam energy」がその無理解さを露呈しています。
    これが単なる勘違いなら、わざわざ問題にする必要はありません。

    LaP氏、あるいは、その信奉者は、IMSとNFTの違いを誤解したこの一点とすることで、NFTの革新的技術投入を隠蔽してしまったのです。

    本来なら、NFTがIR、記事、論文などで、新技術を説明すれば良いのです。むしろ、NFTへ投資をしている株主に対しては、絶対的な開示義務があると考えます。関係する顧客、社員、バイト社員などが自然に技術や出荷情報を先行入手しているのです。
    IRも特定の記者だけにささやき、排他的な説明会を開くなど、会社の先進技術性との落差大です。

    特に許せないのは、関係技術トップが関連論文で、自分の書いた内容で読者が何処まで理解できるかを想定出来ていないことです。これは精神医学ではよく知られていることですが、適切な自己モニタリング機能が欠如している発達障害現象なのです。半導体の生命線であるムーアの法則を維持すべく、究極的な課題を突破した方々には大変失礼なのですが、同時に、こうした指摘を良く理解出来る知力の備わった方々でもあると信じています。


    ところで、日本の半導体製造技術が世界を震撼させ、トップを走った時代がありました。仙台に始まるプロセスの桁違いな高純度、高精度化です。最近の日韓問題でクローズアップされました。

    そこで、次の投稿から、前記ロケットモデルに加えて、初歩的知識で理解できるモデルを使って、NFTの高純度、高精度化の革新性を説明し直してみたいと思います。皆様の御反応次第ですが。

  • 「SKU関連」なんて用語が破竹の進撃を続けるレーザーテックの記事で出てきました。
    NFTなんてど真ん中の関連銘柄でしょう。

    MBMの加速電圧は、NFTの2016年のプレゼン、アルファ機製作の説明でエレクトロンソース=50kevと書いてあるのがいろいろ誤解を招いている可能性あり、と見ました。紛らわしいですね。

    その後の学会プレゼン、Mark氏の記事(探したが見つからない)、そしてnuさんの分かりやすいご説明で、
    不要ビームの偏向除去は5kev領域で行われているのは現仕様では事実そうなのかなあ、と思います。

    最新状況ではどうなっているのやら。
    9月取り寄せの設計変更部品の組み付け・評価が順調だと良いけれど。

  • >>512

    【古い記事2】
    q10さんに次のお願いをしました。「パラドックスが隠れています。それでも、質問を続行するか考えてみて下さい。」

    質問続行について、私の意図が理解できなければ再質問があってもよいとも思いました。しかし、その直後の>>513にて、自己株取得の会社通告のコピペが編集や意見表明無く提示されました、

    そこで、このパラドックスについて、説明を追加します。

    権威者のLaP氏の誤解が問題ですから正面から間違いを指摘するのを私は遠慮しましたが、q10さんは、「IMSは5KeVでNFTは50KeVと思える」との見解で、私が熟知している2社の資料を紹介されました。

    私にとっては、二人目の誤解人物登場。
    もし、私があからさまに間違いを指摘すると、LaP氏に対して遠慮したことと対比して、q10さんに失礼なことになるので、パラドックスの存在を示して質問続行の覚悟を聞いたのです。

    面白いことに、私の投稿>>508に続く対話自体が、結果的に、次の命令を果たすBOTになるのです。

    BOTへの命令: Lap氏と同じ誤解をしている人を探して明らかにし、その人数を調べよ。

    そして、順調にBOTは作動、q10さんがネット上に登場。掲示板の「そう思う」、「そう思わない」の分類には仕様上の欠陥が有り、どの文脈に対する見解なのか不分明ですが、賛否の人数が70~80人程度と分かりました。


    兎も角、今回のコピペ応答で、q10さんへの私の遠慮は不要と確認できました。

    先ず、次の光景を動画的に思い浮かべてみて下さい。

    発射台上でアポロ宇宙船打ち上げロケットのエンジン点火。エンジンの推力は3千トン以上で、ゆっくりと上昇を開始する。順調に加速上昇後、続いて、2段目ロケットのエンジンが点火し、さらに加速する。

    IMS、NFT共に鏡筒内は26万個の穴が空いた多孔板で仕切られています。多孔板の電位は5KVです。
    描画先のマスクブランクは50KVの電位です。磁気レンズの焦点に置かれたカソードから円錐状のビームが引き出され、レンズを通過すると鏡筒サイズの1本の平行ビームになります。これが一段目ロケットです。
    次に多孔板を通過すると26万本のマルチビームになります。つまり、2段目ロケットは26万個の多弾頭ロケットになります。

    ここで、暫時休憩。急転直下、即、問題解決とはなりません。

  • 2013年から、安倍の結果。 これが、消費税上げる原因。  民主の時は、キチンと下がった。

  • 【自己株式の取得状況および取得終了に関するお知らせ 】
    (会社法第 165 条第2項の規定による定款の定めに基づく自己株式の取得)
    当社は、会社法第165条第3項の規定により読み替えて適用される同法第156条の規定に基づき、 自己株式の取得を下記のとおり実施いたしましたので、お知らせいたします。 なお、2019 年5月 10 日開催の取締役会決議に基づく自己株式の取得は、これをもちまして終了 いたしましたので、あわせてお知らせいたします。

    1. 取得対象株式の種類 当社普通株式
    2. 取得した株式の総数 11,100 株
    3. 株式の取得価額の総額 86,421,000 円
    4. 取得期間 2019 年 10 月1日~2019 年 10 月4日
    5. 取得方法 東京証券取引所における市場買付
    (ご参考)
    1. 2019 年5月 10 日開催の取締役会における決議内容
    (1) 取得対象株式の種類 当社普通株式
    (2) 取得し得る株式の総数 620,000 株(上限)
    (発行済株式総数(自己株式を除く)に対する割合 5.17%)
    (3) 株式の取得価額の総額 40 億円(上限)
    (4) 取得期間 2019 年5月 13 日~2019 年 10 月4日
    2. 上記取締役会決議に基づき 2019 年 10 月4日までに取得した自己株式の累計
    (1) 取得した株式の総数 548,900 株
    (2) 株式の取得価額の総額 3,933,966,000 円
    以 上

  • >>510

    q10さん
    早速の御反応ありがとうございます。

    しかし、戴きました内容には、私の大好きなパラドックスが隠れています。
    それでも、質問を続行するか考えてみて下さい。

    戴いた質問の一部:
    IMSは5KeVでNFTは50KeVと思えるような?

    >>508 私の前投稿の一部:
    私は氏の名誉のために、この説明が全くの誤解であると名を挙げて指摘はしませんでした。

  • nu_さん いつも貴重な投稿をしていただきありがとうございます。
    IMSとNFT両社のマルチビーム描画装置の開始エネルギーに関する文献を調べてみましたところ、IMSは5KeVでNFTは50KeVと思えるような?古い資料が有りましたので、ご教示いただけましたら幸いです。
    IMS:https://www.ebeam.org/docs/ebeam_elmar_platzgummer_handout.pdf
    NFT:https://www.ebeam.org/docs/ebeam_initiative_tw_nft.pdf

  • 【古い記事】
    一連の台風や自社株買行事の通過でホッとしたところで、ふと思い出しました。
    2年前、
    2017年10月19日、業界の名士であるMark LaPedus氏の有名な記事がSemiconductor Engineeringサイトに出ました。
    表題; Next-Gen Mask Writer Race Begins
    IMSとNFTの状況説明で、NFTのマルチビーム出荷まで触れています。
    Also last year, IMS, now part of Intel, began shipping the world’s first multi-beam mask writer for use in the patterning the tiny features in advanced photomasks. And recently, rival NuFlare shipped its initial multi-beam mask writer.

    そして、IMSとNFTの仕掛の差をつぎのように集約しています。
    There is one difference, however. IMS’ tool generates a 5-KeV beam energy from the source. Then the energy is amplified to 50-KeV. In contrast, NuFlare’s tool starts out with a 50-KeV beam energy.

    IMSは5KeV(キロエレクトロンボルト)の開始エネルギーであるのに、NFTは50 KeVだと言うのです。

    私は氏の名誉のために、この説明が全くの誤解であると名を挙げて指摘はしませんでした。
    私の過去投稿の大半はこの記事への反論を兼ねた内容でしたが、賢い諸兄姉はよく理解されていたと思います。
    多分、NFTも同じ考えで、敢えて反論しなかったのでしょうか。
    この構造の違いで、IMSは多くの副作用に見舞われるはずです。

    今後、皆様の反応次第で、追加投稿するかも知れません。

  •  新高値更新
     ダウ大幅安の地合いの悪い中、フレアの新高値が光ります。
     次世代マスク描画装置であるマルチビーム描画装置の受注開始が利き元たのか。
     来期に向けて躍進の柱となる大きな材料だろう。

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