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(株)イーディーピー【7794】の掲示板 2023/06/02〜2023/06/03

2インチのウェハーは、間違いなくオーブレーが先行しています。

EDP
 気相成長法、ホモエピタキシャル成長(厚い)、2インチ今期出荷目標
オーブレー
 気相成長法、ヘテロエピタキシャル成長(薄い)、2インチ開発済み!!!

でも、ウェハーの厚みが気になるんですよね。
私が写真で確認する限り、オーブレーの成膜済みのウェハーは、1インチも2インチも綺麗に割れています。ダイヤモンドは硬いはずだけど、どの位薄くすると割れるんですかね。テレビでは、ハンドリングに問題があったと言っていたように記憶していますが、ウェハーの厚みも重要ですね。

EDP
 厚み 0.03〜3mm
オーブレー
 厚み ???