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グリーンイノベーション基金事業/次世代デジタルインフラの構築プロジェクト 2024年度 WG報告資料 2024年 4月24日 IoT推進部 研究開発項目2:次世代パワー半導体に用いるウェハ技術開発 取組状況 •大口径化・長尺化に取組み、溶液流れや溶液温度分布等をプロセスインフォマティクス技術を適用して最適化することで、直径8インチ×厚さ8mmのSiC結晶が得られた。(株式会社オキサイド) •溶液法特有の課題であるインクルージョンについては、シミュレーションによる発生メカニズム解析を終え、AIにデータを引き継ぐことで結晶育成パラメータの最適化を行うことが可能となった。もう一つの溶液法特有の課題であるCr汚染については、実際にエピ成長させて評価した結果、濃度は測定器の検出下限以下で、かつCV特性にも影響がないことを実証。(株式会社オキサイド) •大口径ウェハ用ラインの開発に向け、8インチSiCウェハの詳細な加工工程フロー(第1次案)を作成し、加工ラインに必要な各装置の仕様を決定。選定した装置が計画通り集約。(Mipox株式会社) •デバイス(MOS-FET)評価を早期に実施するため、計画を当初から3年前倒し、2025年度中に溶液法ウェハ上にエピ膜およびMOSーFETを形成して特性評価し、昇華法と同等以上の成長膜およびデバイスが形成できることを確認するように研究実施計画を見直した。 NEDO委員からの助言 •溶液状態の制御を高度化することで8インチへと大口径化しても十分に成長技術としてポテンシャルがあることは実証できている。 •今回、最近の動向も反映され、SWOT分析、5F分析などが成され、戦略が明確になった。 •デバイスメーカーとの連携によって,先行して溶液法ウェハのクオリティの評価を始めている点はとても重要。思わぬ欠点がないのかどうか,慎重に点検をして頂きたく,面内型でよいのでトランジスタ特性までを早い段階で確認,比較を進めて頂きたい。 •溶液法の価値をより上げていくために、昇華法では達成できない品質スペックを標準化したり、環境価値などの新しい価値の軸を設定したりして、標準化に組み込むなども要検討。
chocoZAP店舗における火…
2024/06/11 19:55
chocoZAP店舗における火災発生のお詫びとお知らせ このたび、当社の子会社である RIZAP 株式会社が運営するchocoZAP(チョコザップ)の店舗におきまして、火災が発生いたしました。 本件により、お客様を始め、お取引様、関係者の皆様にご迷惑とご心配をおかけしたこと、心よりお詫びを申し上げます。 現在も、消防や警察の調査が続いている中、現時点で消防の見解や被害状況及び今後の再発防止策について、以下のとおりご報告いたします。 記 (1) 発生日時 令和6年4月30日0時20分頃 (2) 発生場所 chocoZAP千船店 (大阪府大阪市西淀川区大和田3-3-9大和田ローズマンション1F) (3) 被害状況 負傷者なし (4) 出火原因 脱毛器内部のDC電源ユニットに入力されるAC電源端子部での トラッキング現象による発熱・発火が推測される。 (5) 店舗への影響および再開時期 出火による店舗内機器の焼損において現状修復、機器の入れ替えが必要のため、 chocoZAP千船店は一時的に営業を停止し、再開は7月上旬を予定。 ※再開日が確定したら、後日メール配信およびアプリ内にてお知らせ致します。 (6) 再発防止 ■短期的対策 ・全店舗での機器点検およびメンテナンスの実施 ・清掃頻度の見直しと清掃項目の追加 └1店舗1週間あたり10回から20回へ増加予定 └トラッキング現象の原因となる、コンセント周りのほこり除去等も強化 ・スタッフ店舗巡回時の操作案内および定期点検の実施 ・ホームページ、アプリ等の各ツールで操作方法の再周知 └予約確認画面表示 └店舗タブレット配信 └お知らせメール配信 └使い方ページ見直し ■中長期対策 ・1年ごとに脱毛器の定期メンテナンスを実施 ・煙・温度自動検知システムの導入 以上